3D-Strukturierung im Nanometerbereich erfordert hochgenaue Positionierung

Laserlithografiegeräte einer neuen Generation

Die Laserlithografie gilt für viele Bereiche als Schlüsseltechnologie.  Typische Beispiele liefern Mikro- und Nanoelektronik oder -fluidik, ebenso wie Photonik oder Biotechnologie. Mit einem neuen Verfahren lassen sich jetzt erstmals auch sehr komplexe dreidimensionale Mikro- und Nanostrukturen in photosensitiven Materialien herstellen.

Autor(en):
Arnold, Steffen; Reiff, Ellen-Christine

Der vollständige Beitrag ist erschienen in:
VDI-Z 6-2009, Seite 30-31
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